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主分類：
機器
副分類：
検査機
商品名：
穴位置検査装置 Hole AOI
商品説明：
基板またはフィルムの穴位置と穴径及び穴精度、
また収縮と膨張率を検査測定します。
このほか、高機能な画像取り込みシステムを配し、
数秒内に千個の穴の検査測定が可能、さらに5umの高精度に達し、
穴数はパネル毎に100万穴の検査測定が可能です。
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